新华网上海11月27日电（史依灵）11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（简称“AEMD平台”）迎来十周年庆，同时该平台正式开放二期、三期运行。

上海交通大学AEMD平台二期、三期启动运行。新华网 发（受访者供图）

据了解，AEMD平台一期净化工程于2014年建成并于同年11月正式向校内外用户开放服务，这条具有纳米尺寸图形化能力的6英寸无源微纳结构与器件加工的科研实验线，工艺能力涵盖光刻、薄膜、刻蚀、热工艺等全链式微纳加工工艺。十年来，AEMD平台为上海交通大学多学科发展和交叉融合做出了突出贡献，同时平台面向国家需求，积极对接校外科研院所和科技企业的项目需求，助推科研项目基础与应用研究进程，促进产业关键技术创新与突破。

近年来，随着万物互联、人工智能等技术的飞速发展，对微纳技术也提出了更高的要求，AEMD平台在一期科研条件的支持下，在新型光电器件、MEMS器件等方面提前布局，支撑校内外科研团队在相关领域实现突破，取得了丰硕的成果。在此基础上，面向国家重大需求，服务上海交大双一流建设目标，AEMD平台二期、三期又针对有源电/光器件、MEMS、异质异构先进封装等方面做前瞻布局，以期将交大微纳科学基础与应用研究能力提升到更高水平。

据悉， AEMD平台二期、三期投入逾3亿元建设，建成了1200余平米、洁净度从十级到千级标准的东区超净间。现整体拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，6英寸、8英寸先进微纳加工实验线各一条，具备多层级光刻图形化、薄膜生长与沉积、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、先进封装、表征与测试等完善的微纳加工与测试能力，新增全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机、分子束外延、激光诱导玻璃刻蚀、晶圆键合等先进的微纳加工与封装设备，有效增强了平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力，助推上海交通大学的微纳加工能力从无源器件全面提升到有源器件加工水平。

AEMD平台首任主任、长江学者苏翼凯教授回忆起十余年前建设AEMD平台时，仍不住感慨。彼时，上海交大相关学科发展急需微纳加工实验工艺平台。“以服务电子、物理、材料、化工等多学科的原创性和高水平科研为目标的AEMD平台在此背景下应运而生。”苏翼凯说，十年过去，当时立项时的目标，现已成功实现，如今，AEMD平台在光电通信、MEMS、封装等领域已取得了显著成果。

“AEMD平台不仅为我们提供了高精尖的设备和技术支持，更通过开放合作的模式帮助我们实现了产品创新和市场拓展。”企业合作伙伴代表，上海近观科技董事长、首席科学家陈昌说。

上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩表示，十年来，AEMD平台始终秉承“支持学科发展、支撑高水平科学研究”的初心，以“服务、互动、创新、满意”的运行管理模式，深耕微纳加工测试领域，至今已发展成为国内开放程度高、运行机制良好的知名微纳加工平台。“希望未来AEMD平台不断产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果，努力建设成为能够实现重大突破的开放性科研平台”。（完）