近日，2026上海国际半导体展览会开幕。作为总部位于安徽合肥的工业具身智能龙头企业，合肥优艾智合机器人股份有限公司（以下简称“优艾智合”）在展会上发布并展示了三款新一代半导体具身智能移动操作机器人（OW12-300、OW8-350及ATS6F），分别针对12寸晶圆全工艺段、8寸晶圆前道工程及跨洁净度物料转运场景，形成覆盖半导体全工艺链的工业物流解决方案。

现场演示中，三款机器人在模拟的半导体工厂环境中协同作业，实现物料取料、运输、对接的全流程自动化闭环。其中，OW12-300与OW8-350的空满交换时间控制在25秒以内，作业节拍与天车系统相当，同时支持无线充电与不间断运行模式，可实现7×24小时连续作业。

此次发布的三款新品中，ATS6F的亮相尤其值得关注。ATS6F为行业首创产品，配备舱内洁净系统与自动密封技术，能够在万级洁净车间内保障物料百级洁净度，实现跨洁净区域的物料转运，大幅降低了连廊运输场景中无尘环境及专用轨道的建设成本，为半导体工厂降本增效提供了新路径。

优艾智合相关负责人介绍，该系列产品结合物料信息管理系统，可实现物料全流程可追溯，并与生产系统实现数据闭环。该负责人表示，公司依托“一脑多态”具身智能解决方案，已在半导体、能源化工等多个工业领域实现规模化落地应用。未来，将持续深耕半导体智能装备领域，助力制造业智能化升级。（陈菁钰）